В зависимости от принципов работы датчики давления можно разделить на несколько типов, в том числе керамические емкостные, металлические емкостные, тонкопленочные тензорезисторы, тензорезисторы, кремниевые пьезорезистивные, кремниевые емкостные и кремниевые резонансные датчики. Среди них резонансные датчики давления обеспечивают самую высокую точность, достигая точности до 0,01% полной шкалы во всем диапазоне температур (-от 40 до 85 градусов). Благодаря своей исключительной точности они широко используются в приложениях, требующих чрезвычайно высокой точности давления, таких как измерение глубины океана, эталоны эталонного давления, измерение параметров полета самолета и метеорологический мониторинг. Причины, по которым кремниевые резонансные датчики давления обеспечивают столь высокоточное измерение давления, заключаются в следующем:
1. Основная структура кремниевого резонансного датчика давления представляет собой симметричный кремниевый резонатор с двойным-зажимом. Резонансная частота резонатора изменяется в зависимости от приложенного давления. Поскольку частота является внутренним свойством твердых тел, она менее восприимчива к низкочастотному шуму и минимально изменяется в зависимости от температуры. Этот естественный эффект фильтрации приводит к высокому соотношению-сигнала к-шуму.
2. Конструкция резонатора с двойным-зажимом гарантирует, что при вибрации резонатора результирующая внешняя сила равна нулю. Кроме того, благодаря использованию технологии анодной сварки MEMS весь резонатор работает в вакуумной среде, достигая высокой добротности.
3. В процессе проектирования в термочувствительных областях резонатора устанавливаются конструкции,-снимающие напряжение, чтобы минимизировать тепловое напряжение. Это существенно снижает термическую нагрузку на резонатор.
Кремниевые резонансные датчики давления компании Xi'an Mihui Technology обеспечивают высокую-точность измерения давления с погрешностью 0,01 % полной шкалы во всем диапазоне температур. Они обеспечивают беспрецедентную годовую стабильность 0,01% полной шкалы и поддерживают как частотный выход, так и цифровой выход RS485. Эти датчики охватывают измерения абсолютного давления от 100 кПа до 1 МПа. Технические характеристики следующие:
Заинтересованные стороны могут связаться с нами через информацию, представленную на нашем сайте.
