Технология измерения вакуума является важнейшим компонентом вакуумной науки и техники, спрос на который растет как в оборонном, так и в гражданском секторах. Точное измерение вакуумного давления особенно важно. Вакуумметры широко используются в промышленном производстве, полупроводниковом оборудовании, атомной промышленности и других областях. В число всемирно известных производителей вакуумметров входят MKS Instruments и INFICON. Существует два распространенных типа вакуумметров, основанных на принципах их работы: один — это металлический емкостной вакуумметр, представленный техническим подходом MKS, а другой — керамический емкостный вакуумметр, представленный техническим подходом INFICON. Как правило, металлические емкостные вакуумметры обеспечивают лучшие характеристики, чем керамические емкостные модели, что делает их более широко распространенными.
Чувствительный элемент металлоемкостного вакуумметра состоит из емкостной структуры, образованной металлической диафрагмой толщиной около 40 мкм и керамическим электродом. Как показано на рисунках выше, металлическая диафрагма перед сваркой растягивается с большой силой натяжения, создавая конструкцию, способную выдерживать перегрузочное давление, в сотни раз превышающее номинальный диапазон. Когда к диафрагме прикладывается вакуумное давление, она деформируется, изменяя емкость между металлическим электродом диафрагмы и керамическим электродом. Измерив это изменение емкости и откалибровав его по стандартным эталонам вакуумного давления, можно определить абсолютное значение вакуума. Для повышения точности измерений внутри резонатора размещается геттер.
Компания Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. независимо разработала вакуумметр VG750, добившись производительности, сравнимой с продуктами MKS и INFICON. Он охватывает диапазон измерений от 1 Торр до 1000 Торр и широко применяется в пакетных приложениях в полупроводниковой и атомной промышленности. Его технические характеристики указаны в таблице ниже. Заинтересованные стороны могут связаться с нами для пробного использования.
Для получения дополнительной информации посетите наш сайт:mihuitec.com или посетите страницу продукта: Китайский металлоемкостный мембранный манометр VG750 Производители Поставщики Фабрика - Предложение - Mihui Tech.
